1. SE Lazer Dopinq Prosesi
Məqsəd:Seçici Emitter (SE) lazer dopinq prosesi, kontakt müqavimətini azaltmaq və konversiya səmərəliliyini artırmaq üçün N-tipli TOPCon hüceyrəsindəki emitter təbəqəsini gücləndirir.
Mexanizm:Lazer enerjisi silikon səthini əridir və borosilikat şüşədəki bor (B) atomlarının silikona sürətlə yayılmasına imkan verir və bununla da çox qatılaşdırılmış təbəqə yaradır. Təmas nöqtələrində yüksək qatqı təmas müqavimətini azaldır, digər yerlərdə isə daha yüngül qatqı rekombinasiya itkilərini minimuma endirir və nəticədə səmərəliliyi 0,2%-0,4% artırır.
2. Tunel oksidi və polikristal silisium təbəqələrinin əmələ gəlməsi
Məqsəd:Silikon lövhənin arxa tərəfindəki bu təbəqələr rekombinasiyanı azaltmaq və səmərəliliyi artırmaq üçün vacib olan passivləşdirilmiş təmas strukturu yaradır.
Metod:Sənayedə üstünlük verilən Plazma Gücləndirilmiş Kimyəvi Buxar Çökdürmə (PECVD) metodu, 1-2 nm silikon oksid təbəqəsi və 100-150 nm aşqarlanmış amorf silikon təbəqəsini çökdürür ki, bu da tavlama zamanı kristallaşaraq polikristal təbəqə əmələ gətirir. PECVD yüksək çökmə sürəti, azaldılmış çirklənmə və aşağı qiymət təklif edir ki, bu da onu kütləvi istehsal üçün effektiv seçim edir.
3. Əks Etdirici Örtük (ARC)
Məqsəd:Çoxqatlı dielektrik struktur (SiOx/SiONx/SiNx) optik itkiləri azaldır və işığın udulmasını artırır, fotocərəyanı və səmərəliliyi artırır.
Əlavə üstünlüklər:ARC, səth rekombinasiya nisbətlərini azaltmaqla, hüceyrə ömrünü uzatmaqla və əvvəlcədən çökdürülmüş təbəqələri (məsələn, ön tərəfdəki alüminium oksidi) zədələnmədən və çirklənmədən qorumaqla səth passivləşməsini təmin edir.
4. Lazerlə İnduksiya Edilmiş Atəş (LIF)
Məqsəd:LIF, metal pastası və silikon arasındakı təması optimallaşdırmaq üçün ekran sonrası çapdan istifadə olunur. Bu proses omik təması artırır və təmas müqavimətini azaldır, elektrik çıxışını yaxşılaşdırır.
Təsir:LIF-in konversiya səmərəliliyini 0,2% və ya daha çox artırdığı və bu da onu TOPCon istehsalına dəyərli bir əlavə etdiyi göstərilmişdir.
Bu əsas proses addımları TOPCon texnologiyasındakı qabaqcıl istehsal üsullarını vurğulayır və günəş batareyalarının işində daha yüksək səmərəlilik və artan sabitlik təmin edir.
