1. Proces dopování laserem SE
Účel:Proces dopování laserem selektivním emitorem (SE) vylepšuje vrstvu emitoru na článku TOPCon typu N, čímž se snižuje kontaktní odpor a zlepšuje účinnost konverze.
Mechanismus:Laserová energie taví povrch křemíku, což umožňuje atomům boru (B) v borosilikátovém skle rychle difundovat do křemíku a vytvořit silně dopovanou vrstvu. Vysoký doping v kontaktních bodech snižuje kontaktní odpor, zatímco nižší doping jinde minimalizuje rekombinační ztráty, což v konečném důsledku zvyšuje účinnost o 0,2–0,4 %.
2. Vznik vrstev tunelového oxidu a polykrystalického křemíku
Účel:Tyto vrstvy na zadní straně křemíkového plátku vytvářejí pasivovanou kontaktní strukturu, která je klíčová pro snížení rekombinace a zvýšení účinnosti.
Metoda:Průmyslově preferovaná metoda plazmové depozice z plynné fáze (PECVD) nanáší 1–2 nm film oxidu křemičitého a 100–150 nm dopovanou vrstvu amorfního křemíku, která během žíhání krystalizuje a vytváří polykrystalickou vrstvu. PECVD nabízí vysokou rychlost depozice, sníženou kontaminaci a nízké náklady, což z ní činí efektivní volbu pro hromadnou výrobu.
3. Antireflexní vrstva (ARC)
Účel:Vícevrstvá dielektrická struktura (SiOx/SiONx/SiNx) snižuje optické ztráty a zlepšuje absorpci světla, čímž zvyšuje fotoelektrický proud a účinnost.
Další výhody:ARC zajišťuje pasivaci povrchu snížením rychlosti povrchové rekombinace, prodloužením životnosti článků a ochranou dříve nanesených vrstev (jako je oxid hlinitý na přední straně) před poškozením a kontaminací.
4. Laserem indukované střelení (LIF)
Účel:LIF se používá po sítotisku k optimalizaci kontaktu mezi kovovou pastou a křemíkem. Tento proces zlepšuje ohmický kontakt a snižuje kontaktní odpor, čímž se zlepšuje elektrický výkon.
Dopad:Bylo prokázáno, že LIF zvyšuje účinnost konverze o 0,2 % nebo více, což z něj činí cenný doplněk k výrobě TOPCon.
Tyto klíčové kroky procesu zdůrazňují pokročilé výrobní techniky v technologii TOPCon, které umožňují vyšší účinnost a zvýšenou stabilitu výkonu solárních článků.
