1. SE laserdopingu protsess
Eesmärk:Selektiivse emitteri (SE) laserdopinguprotsess täiustab N-tüüpi TOPCon-elemendi emitterikihti, et vähendada kontakttakistust ja parandada muundamise efektiivsust.
Mehhanism:Laserenergia sulatab räni pinna, võimaldades boori (B) aatomitel borosilikaatklaasis kiiresti räni sisse difundeeruda, luues tugevalt legeeritud kihi. Kõrge legeerimisaste kontaktpunktides vähendab kontakttakistust, samas kui kergem legeerimine mujal minimeerib rekombinatsioonikadusid, parandades lõppkokkuvõttes efektiivsust 0,2–0,4%.
2. Tunneloksiidi ja polükristallilise räni kihtide moodustumine
Eesmärk:Need räniplaadi tagaküljel olevad kihid loovad passiivitud kontaktstruktuuri, mis on oluline rekombinatsiooni vähendamiseks ja efektiivsuse suurendamiseks.
Meetod:Tööstusharus eelistatud plasma abil keemilise sadestamise (PECVD) meetod sadestab 1–2 nm ränioksiidi kile ja 100–150 nm legeeritud amorfse räni kihi, mis kristalliseerub lõõmutamise ajal, moodustades polükristallilise kihi. PECVD pakub suurt sadestamiskiirust, väiksemat saastumist ja madalaid kulusid, muutes selle masstootmise jaoks tõhusaks valikuks.
3. Peegeldusvastane kate (ARC)
Eesmärk:Mitmekihiline dielektriline struktuur (SiOx/SiONx/SiNx) vähendab optilisi kadusid ja parandab valguse neeldumist, suurendades fotovoolu ja efektiivsust.
Lisahüved:ARC tagab pinna passiivsuse, vähendades pinna rekombinatsioonikiirust, pikendades rakkude eluiga ja kaitstes eelnevalt sadestatud kihte (näiteks alumiiniumoksiidi esiküljel) kahjustuste ja saastumise eest.
4. Laserindutseeritud tulistamine (LIF)
Eesmärk:LIF-meetodit kasutatakse pärast siiditrüki lõppu, et optimeerida metallpasta ja räni vahelist kontakti. See protsess parandab oomilist kontakti ja vähendab kontakttakistust, parandades elektrilist väljundvõimsust.
Mõju:On näidatud, et LIF suurendab konversioonitõhusust 0,2% või rohkem, muutes selle väärtuslikuks täienduseks TOPConi tootmisele.
Need põhiprotsessi etapid toovad esile TOPConi tehnoloogia täiustatud tootmistehnikad, mis võimaldavad päikesepatareide jõudluse suuremat efektiivsust ja stabiilsust.
