1. SE-laserdopingproces
Doel:Het Selective Emitter (SE) laserdopingproces verbetert de emitterlaag op een N-type TOPCon-cel om de contactweerstand te verlagen en de conversie-efficiëntie te verbeteren.
Mechanisme:Laserenergie smelt het siliciumoppervlak, waardoor booratomen (B) in het borosilicaatglas snel in het silicium kunnen diffunderen en een sterk gedoteerde laag ontstaat. Een hoge dotering op de contactpunten verlaagt de contactweerstand, terwijl een lagere dotering elders de recombinatieverliezen minimaliseert, wat uiteindelijk de efficiëntie met 0,2% tot 0,4% verbetert.
2. Vorming van tunneloxide- en polykristallijne siliciumlagen
Doel:Deze lagen aan de achterzijde van de siliciumwafel creëren een gepassiveerde contactstructuur, die cruciaal is voor het verminderen van recombinatie en het verbeteren van de efficiëntie.
Methode:De in de industrie geprefereerde Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD)-methode zet een 1-2 nm dikke siliciumoxidefilm en een 100-150 nm dikke gedoteerde amorfe siliciumlaag af, die tijdens het gloeien kristalliseert tot een polykristallijne laag. PECVD biedt een hoge afzettingssnelheid, minder verontreiniging en lage kosten, waardoor het een effectieve keuze is voor massaproductie.
3. Antireflecterende coating (ARC)
Doel:De meerlaagse diëlektrische structuur (SiOx/SiONx/SiNx) vermindert optische verliezen en verbetert de lichtabsorptie, waardoor de fotostroom en het rendement toenemen.
Extra voordelen:De ARC zorgt voor oppervlaktepassivering door de oppervlakterecombinatiesnelheid te verlagen, de levensduur van de cel te verlengen en eerder aangebrachte lagen (zoals aluminiumoxide aan de voorkant) te beschermen tegen beschadiging en verontreiniging.
4. Laser-geïnduceerde ontsteking (LIF)
Doel:LIF wordt na het zeefdrukken gebruikt om het contact tussen de metaalpasta en het silicium te optimaliseren. Dit proces verbetert het ohmische contact en verlaagt de contactweerstand, waardoor de elektrische output verbetert.
Invloed:Uit onderzoek is gebleken dat LIF de conversie-efficiëntie met 0,2% of meer verhoogt, waardoor het een waardevolle aanvulling is op de TOPCon-productie.
Deze kernprocesstappen benadrukken de geavanceerde productietechnieken van de TOPCon-technologie, die een hogere efficiëntie en verbeterde stabiliteit van de zonnecelprestaties mogelijk maken.
