1. SE-laserdopingprosessi
Tarkoitus:Selective Emitter (SE) -laserdopausprosessi parantaa N-tyypin TOPCon-kennon emitterikerrosta vähentääkseen kosketusvastusta ja parantaakseen muunnostehokkuutta.
Mekanismi:Laserenergia sulattaa piin pinnan, jolloin borosilikaattilasissa olevat booriatomit (B) diffundoituvat nopeasti piihin ja luovat voimakkaasti seostetun kerroksen. Korkea seostuspitoisuus kosketuspisteissä vähentää kosketusvastusta, kun taas kevyempi seostus muualla minimoi rekombinaatiohäviöt, mikä parantaa lopulta hyötysuhdetta 0,2–0,4 %.
2. Tunnelioksidi- ja polykiteisten piikerrosten muodostuminen
Tarkoitus:Nämä piikiekon takapuolella olevat kerrokset luovat passivoituneen kontaktirakenteen, joka on ratkaisevan tärkeä rekombinaation vähentämiseksi ja tehokkuuden parantamiseksi.
Menetelmä:Alan suosima plasma-avusteinen kemiallinen höyrypinnoitus (PECVD) -menetelmä pinnoittaa 1–2 nm:n piioksidikalvon ja 100–150 nm:n seostetun amorfisen piikerroksen, joka kiteytyy hehkutuksen aikana muodostaen polykiteisen kerroksen. PECVD tarjoaa suuren pinnoitusnopeuden, vähemmän kontaminaatiota ja alhaiset kustannukset, mikä tekee siitä tehokkaan vaihtoehdon massatuotantoon.
3. Heijastamaton pinnoite (ARC)
Tarkoitus:Monikerroksinen dielektrinen rakenne (SiOx/SiONx/SiNx) vähentää optisia häviöitä ja parantaa valon absorptiota, mikä lisää valosähkövirtaa ja tehokkuutta.
Lisäedut:ARC tarjoaa pinnan passivoinnin vähentämällä pinnan rekombinaatioasteita, pidentämällä solujen käyttöikää ja suojaamalla aiemmin kerrostettuja kerroksia (kuten alumiinioksidia etupuolella) vaurioilta ja kontaminaatiolta.
4. Laserilla aiheutettu laukaisu (LIF)
Tarkoitus:LIF-menetelmää käytetään silkkipainatuksen jälkeen metallipastan ja piin välisen kontaktin optimoimiseksi. Tämä prosessi parantaa ohmista kontaktia ja vähentää kontaktin vastusta, mikä parantaa sähköntuottoa.
Vaikutus:LIF-menetelmän on osoitettu lisäävän konversiotehokkuutta 0,2 % tai enemmän, mikä tekee siitä arvokkaan lisän TOPCon-valmistukseen.
Nämä ydinprosessin vaiheet korostavat TOPCon-teknologian edistyneitä valmistustekniikoita, jotka mahdollistavat aurinkokennojen suorituskyvyn paremman tehokkuuden ja parannetun vakauden.
