1. Процес на лазерно допиране SE
Цел:Процесът на лазерно легиране със селективен емитер (SE) подобрява емитерния слой върху N-тип TOPCon клетка, за да намали контактното съпротивление и да подобри ефективността на преобразуване.
Механизъм:Лазерната енергия разтопява силициевата повърхност, което позволява на атомите на бора (B) в боросиликатно стъкло да дифундират бързо в силиция, създавайки силно легиран слой. Високото легиране в контактните точки намалява контактното съпротивление, докато по-лекото легиране на други места минимизира загубите от рекомбинация, като в крайна сметка подобрява ефективността с 0,2%-0,4%.
2. Образуване на слоеве от тунелен оксид и поликристален силициев диоксид
Цел:Тези слоеве на гърба на силициевата пластина създават пасивирана контактна структура, която е от решаващо значение за намаляване на рекомбинацията и повишаване на ефективността.
Метод:Предпочитаният в индустрията метод за плазмено усилено химическо отлагане от пари (PECVD) отлага 1-2 nm филм от силициев оксид и 100-150 nm легиран аморфен силициев слой, който кристализира по време на отгряване, за да образува поликристален слой. PECVD предлага висока скорост на отлагане, намалено замърсяване и ниска цена, което го прави ефективен избор за масово производство.
3. Антирефлексно покритие (ARC)
Цел:Многослойната диелектрична структура (SiOx/SiONx/SiNx) намалява оптичните загуби и подобрява поглъщането на светлина, като по този начин повишава фототока и ефективността.
Допълнителни предимства:ARC осигурява пасивация на повърхността чрез намаляване на скоростта на повърхностна рекомбинация, удължаване на живота на клетките и защита на предварително отложените слоеве (като алуминиев оксид отпред) от повреди и замърсяване.
4. Лазерно индуцирано изпичане (LIF)
Цел:LIF се използва след ситопечат, за да се оптимизира контактът между металната паста и силиция. Този процес подобрява омическия контакт и намалява контактното съпротивление, подобрявайки електрическата мощност.
Въздействие:Доказано е, че LIF увеличава ефективността на преобразуване с 0,2% или повече, което го прави ценно допълнение към производството на TOPCon.
Тези основни стъпки на процеса подчертават усъвършенстваните производствени техники в технологията TOPCon, позволяващи по-висока ефективност и подобрена стабилност в работата на слънчевите клетки.
