1. SE lazerinio dopingo procesas
Paskirtis:Selektyvaus skleidėjo (SE) lazerinio legiravimo procesas sustiprina skleidėjo sluoksnį ant N tipo TOPCon elemento, kad sumažintų kontaktinę varžą ir pagerintų konversijos efektyvumą.
Mechanizmas:Lazerio energija išlydo silicio paviršių, todėl boro (B) atomai borosilikatiniame stikle gali greitai difunduoti į silicį ir sukurti stipriai legiruotą sluoksnį. Didelis legiravimo kiekis sąlyčio taškuose sumažina kontaktinę varžą, o mažesnis legiravimo kiekis kitur sumažina rekombinacijos nuostolius, galiausiai padidindamas efektyvumą 0,2–0,4 %.
2. Tunelinio oksido ir polikristalinio silicio sluoksnių susidarymas
Paskirtis:Šie silicio plokštelės galinės pusės sluoksniai sukuria pasyvuotą kontaktinę struktūrą, kuri yra labai svarbi rekombinacijos mažinimui ir efektyvumo didinimui.
Metodas:Pramonėje populiarus plazminio cheminio garinimo nusodinimo (PECVD) metodas nusodina 1–2 nm silicio oksido plėvelę ir 100–150 nm legiruoto amorfinio silicio sluoksnį, kuris atkaitinimo metu kristalizuojasi ir sudaro polikristalinį sluoksnį. PECVD pasižymi dideliu nusodinimo greičiu, mažesniu užterštumu ir mažomis sąnaudomis, todėl tai yra veiksmingas pasirinkimas masinei gamybai.
3. Atspindinti danga (ARC)
Paskirtis:Daugiasluoksnė dielektrinė struktūra (SiOx/SiONx/SiNx) sumažina optinius nuostolius ir pagerina šviesos absorbciją, padidindama fotosrovę ir efektyvumą.
Papildomi privalumai:ARC užtikrina paviršiaus pasyvavimą, sumažindamas paviršiaus rekombinacijos greitį, pailgindamas ląstelių gyvavimo trukmę ir apsaugodamas anksčiau nusodintus sluoksnius (pvz., aliuminio oksidą priekyje) nuo pažeidimų ir užteršimo.
4. Lazerio sukeltas šaudymas (LIF)
Paskirtis:LIF technologija naudojama po šilkografijos, siekiant optimizuoti metalo pastos ir silicio kontaktą. Šis procesas pagerina ominį kontaktą ir sumažina kontaktinę varžą, taip pagerindamas elektros išvestį.
Poveikis:Įrodyta, kad LIF padidina konversijos efektyvumą 0,2 % ar daugiau, todėl tai vertingas papildymas TOPCon gamyboje.
Šie pagrindiniai proceso etapai pabrėžia pažangias TOPCon technologijos gamybos technologijas, leidžiančias pasiekti didesnį efektyvumą ir stabilesnį saulės elementų veikimą.
