1. SE лазерлік легирлеу процесі
Мақсаты:Селективті эмиттер (SE) лазерлік легирлеу процесі N-типті TOPCon ұяшығындағы эмиттер қабатын күшейтеді, бұл жанасу кедергісін азайтады және түрлендіру тиімділігін арттырады.
Механизм:Лазер энергиясы кремний бетін балқытады, бұл боросиликат шынысындағы бор (B) атомдарының кремнийге тез диффузиялануына мүмкіндік береді, бұл қатты легирленген қабат жасайды. Байланыс нүктелерінде жоғары легирлеу жанасу кедергісін төмендетеді, ал басқа жерлерде жеңіл легирлеу рекомбинация шығындарын азайтады, сайып келгенде тиімділікті 0,2%-0,4%-ға жақсартады.
2. Туннель оксиді мен поликристалды кремний қабаттарының түзілуі
Мақсаты:Кремний пластинасының артқы жағындағы бұл қабаттар рекомбинацияны азайту және тиімділікті арттыру үшін маңызды болып табылатын пассивтелген байланыс құрылымын жасайды.
Әдіс:Өнеркәсіпте кеңінен қолданылатын плазмалық күшейтілген химиялық бу тұндыру (PECVD) әдісі 1-2 нм кремний оксиді пленкасын және 100-150 нм легирленген аморфты кремний қабатын тұндыру үшін қолданылады, ол күйдіру кезінде кристалданып, поликристалды қабат түзеді. PECVD жоғары тұндыру жылдамдығын, ластануды азайтатынын және төмен құнын ұсынады, бұл оны жаппай өндіріс үшін тиімді таңдау етеді.
3. Шағылыстырмайтын жабын (ARC)
Мақсаты:Көп қабатты диэлектрлік құрылым (SiOx/SiONx/SiNx) оптикалық шығындарды азайтады және жарықтың жұтылуын жақсартады, фототок пен тиімділікті арттырады.
Қосымша артықшылықтар:ARC беттік пассивацияны беттік рекомбинация жылдамдығын төмендету, жасуша қызмет ету мерзімін ұзарту және бұрын тұндырылған қабаттарды (мысалы, алдыңғы жағындағы алюминий оксиді) зақымданудан және ластанудан қорғау арқылы қамтамасыз етеді.
4. Лазермен ату (LIF)
Мақсаты:LIF металл пастасы мен кремний арасындағы жанасуды оңтайландыру үшін экраннан кейінгі басып шығаруда қолданылады. Бұл процесс омдық жанасуды күшейтеді және жанасу кедергісін азайтады, электр қуатын жақсартады.
Әсері:LIF түрлендіру тиімділігін 0,2% немесе одан да көп арттыратыны көрсетілген, бұл оны TOPCon өндірісіне құнды қосымша етеді.
Бұл негізгі процесс қадамдары TOPCon технологиясындағы озық өндіріс әдістерін ерекшелейді, бұл күн батареяларының өнімділігін арттыруға және тұрақтылықты арттыруға мүмкіндік береді.
