1. SE лазер легирлау процессы
Максат:Сайланма эмиттер (SE) лазер легирлау процессы N-типтагы TOPCon күзәнәктәге эмиттер катламын көчәйтә, контакт каршылыгын киметә һәм конверсия нәтиҗәлелеген яхшырта.
Механизм:Лазер энергиясе кремний өслеген эретә, боросиликат пыяласында бор (B) атомнарының тиз арада кремний эченә таралуына мөмкинлек бирә, бу исә көчле легирланган катлам барлыкка китерә. Контакт нокталарында югары легирлау контакт каршылыгын киметә, ә башка урыннарда җиңелрәк легирлау рекомбинация югалтуларын минимальләштерә, нәтиҗәдә нәтиҗәлелекне 0,2%-0,4% ка яхшырта.
2. Туннель оксиды һәм поликристалл кремний катламнарының барлыкка килүе
Максат:Кремний пластинасының арткы ягындагы бу катламнар пассивлаштырылган контакт структурасын барлыкка китерә, бу рекомбинацияне киметү һәм нәтиҗәлелекне арттыру өчен бик мөһим.
Метод:Сәнәгатьтә өстенлекле булган плазма белән көчәйтелгән химик пар чыгару (PECVD) ысулы 1-2 нм кремний оксиды пленкасын һәм 100-150 нм легирланган аморф кремний катламын урнаштыра, ул җылыту вакытында кристаллашып поликристалл катлам барлыкка китерә. PECVD югары урнаштыру тизлеген, пычрануны киметүне һәм түбән бәя тәкъдим итә, бу аны массакүләм җитештерү өчен нәтиҗәле сайлау итә.
3. Чагылдырмый торган каплау (ARC)
Максат:Күп катламлы диэлектрик структура (SiOx/SiONx/SiNx) оптик югалтуларны киметә һәм яктылыкны сеңдерүне көчәйтә, фототокны һәм нәтиҗәлелекне арттыра.
Өстәмә өстенлекләр:ARC өслек рекомбинациясе тизлеген киметү, күзәнәк гомерен озайту һәм алдан урнаштырылган катламнарны (мәсәлән, алгы яктагы алюминий оксиды) зыяннан һәм пычранудан саклау юлы белән өслек пассивациясен тәэмин итә.
4. Лазер белән индукцияләнгән ату (LIF)
Максат:LIF металл пастасы һәм кремний арасындагы контактны оптимальләштерү өчен экраннан соң бастыру кулланыла. Бу процесс ом контактын көчәйтә һәм контакт каршылыгын киметә, электр чыгаруны яхшырта.
Тәэсир:LIF конверсия нәтиҗәлелеген 0,2% яки аннан да күбрәккә арттыра, бу аны TOPCon җитештерүенә кыйммәтле өстәмә итә.
Бу төп процесс адымнары TOPCon технологиясендәге алдынгы җитештерү ысулларын ассызыклый, кояш батареялары эшчәнлегендә югарырак нәтиҗәлелек һәм тотрыклылыкны арттырырга мөмкинлек бирә.
