1. SE לייזער דאָפּינג פּראָצעס
צוועק:דער סעלעקטיוו עמטער (SE) לאַזער דאָפּינג פּראָצעס פֿאַרבעסערט די עמטער שיכט אויף אַן N-טיפּ TOPCon צעל צו רעדוצירן קאָנטאַקט קעגנשטעל און פֿאַרבעסערן קאָנווערסיע עפעקטיווקייט.
מעכאניזם:לאַזער ענערגיע צעשמעלצט די סיליקאָן ייבערפלאַך, וואָס ערמעגליכט באָר (B) אַטאָמען אין די באָראָסיליקאַט גלאָז צו דיפיוז שנעל אין די סיליקאָן, שאַפֿנדיק אַ שווער דאָפּעד שיכט. הויך דאָפּינג ביי קאָנטאַקט פונקטן ראַדוסירט קאָנטאַקט קעגנשטעל, בשעת לייטער דאָפּינג אַנדערשוואו מינאַמייזיז רעקאָמבינאַציע פארלוסטן, לעסאָף פֿאַרבעסערנדיק עפעקטיווקייט מיט 0.2%-0.4%.
2. פאָרמירונג פון טונעל אָקסייד און פּאָליקריסטאַלין סיליקאָן לייַערס
צוועק:די שיכטן אויף דער הינטערשטער זייט פון די סיליקאָן וועיפער שאַפֿן אַ פּאַסיווירטע קאָנטאַקט סטרוקטור, קריטיש פֿאַר רעדוצירן רעקאָמבינאַציע און פֿאַרבעסערן עפֿעקטיוויטעט.
מעטאָד:די אינדוסטריע-בילכער פּלאַזמע-פאַרשטאַרקטע כעמישע פארע-דעפּאָזיציע (PECVD) מעטאָדע דעפּאָזיטירט אַ 1-2 נאַנאָמעטער סיליקאָן אָקסייד פילם און אַ 100-150 נאַנאָמעטער דאָפּירטע אַמאָרפֿישע סיליקאָן שיכט, וואָס קריסטאַלייזירט בעתן אָפּגליען צו פֿאָרמירן אַ פּאָליקריסטאַלין שיכט. PECVD אָפערט אַ הויכע דעפּאָזיציע-גיכקייט, פֿאַרמינדערטע קאָנטאַמינאַציע, און נידעריקע קאָסטן, מאַכנדיג עס אַן עפֿעקטיווע ברירה פֿאַר מאַסע-פּראָדוקציע.
3. אַנטי-רעפלעקטיוו קאָוטינג (ARC)
צוועק:די מולטי-שיכטיק דיעלעקטרישע סטרוקטור (SiOx/SiONx/SiNx) רעדוצירט אָפּטישע פארלוסטן און פארבעסערט ליכט אַבזאָרפּציע, פארגרעסערנדיק פאָטאָשטראָם און עפעקטיווקייט.
נאָך בענעפיטן:די ARC צושטעלט ייבערפלאַך פּאַסיוואַציע דורך רעדוצירן ייבערפלאַך רעקאָמבינאַציע ראַטעס, פֿאַרלענגערן צעל לעבן, און באַשיצן פריער-דעפּאַזאַטירטע לייַערס (אַזאַ ווי אַלומינאַ אויף די פראָנט) פון שעדיקן און קאַנטאַמאַניישאַן.
4. לאַזער-אינדוצירטע שיסעריי (LIF)
צוועק:LIF ווערט גענוצט נאך-זיפרען דרוק צו אפטימיזירן דעם קאנטאקט צווישן דער מעטאל פאסטע און סיליקאן. דער פראצעס פארבעסערט דעם אהאמישן קאנטאקט און פארקלענערט קאנטאקט קעגנשטאנד, פארבעסערנדיג עלעקטרישע ארויסגאבע.
השפּעה:עס איז געוויזן געוואָרן אַז LIF פֿאַרגרעסערט קאָנווערזשאַן עפֿעקטיווקייט מיט 0.2% אָדער מער, מאַכנדיג עס אַ ווערטפֿולע צוגאָב צו TOPCon מאַנופֿאַקטורינג.
די הויפּט פּראָצעס טריט הויכפּונקטן די אַוואַנסירטע מאַנופאַקטורינג טעקניקס אין TOPCon טעכנאָלאָגיע, וואָס ערמעגליכט העכערע עפעקטיווקייט און פֿאַרבעסערטע סטאַביליטעט אין זונ - צעל פאָרשטעלונג.
