1. SE-laserdopningsprocess
Ändamål:Laserdopningsprocessen med selektiv emitter (SE) förbättrar emitterskiktet på en TOPCon-cell av N-typ för att minska kontaktresistansen och förbättra omvandlingseffektiviteten.
Mekanism:Laserenergi smälter kiselytan, vilket gör att boratomer (B) i borsilikatglaset snabbt kan diffundera in i kislet och skapa ett kraftigt dopat lager. Hög dopning vid kontaktpunkterna minskar kontaktmotståndet, medan lättare dopning på andra ställen minimerar rekombinationsförluster, vilket i slutändan förbättrar effektiviteten med 0,2–0,4 %.
2. Bildning av tunneloxid- och polykristallina kiselskikt
Ändamål:Dessa lager på kiselskivans baksida skapar en passiverad kontaktstruktur, avgörande för att minska rekombination och öka effektiviteten.
Metod:Den branschföredragna Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD)-metoden avsätter en 1–2 nm kiseloxidfilm och ett 100–150 nm dopat amorft kisellager, vilket kristalliserar under glödgning för att bilda ett polykristallint lager. PECVD erbjuder hög avsättningshastighet, minskad kontaminering och låg kostnad, vilket gör den till ett effektivt val för massproduktion.
3. Antireflexbeläggning (ARC)
Ändamål:Den dielektriska strukturen i flera skikt (SiOx/SiONx/SiNx) minskar optiska förluster och förbättrar ljusabsorptionen, vilket ökar fotoström och effektivitet.
Ytterligare fördelar:ARC-tekniken ger ytpassivering genom att minska ytrekombinationshastigheterna, förlänga cellernas livslängd och skydda tidigare deponerade lager (som aluminiumoxid på framsidan) från skador och kontaminering.
4. Laserinducerad avfyrning (LIF)
Ändamål:LIF används efter screentryck för att optimera kontakten mellan metallpastan och kisel. Denna process förbättrar den ohmska kontakten och minskar kontaktmotståndet, vilket förbättrar den elektriska uteffekten.
Inverkan:LIF har visat sig öka konverteringseffektiviteten med 0,2 % eller mer, vilket gör det till ett värdefullt tillskott till TOPCon-tillverkning.
Dessa kärnprocessteg belyser de avancerade tillverkningsteknikerna i TOPCon-tekniken, vilket möjliggör högre effektivitet och förbättrad stabilitet i solcellernas prestanda.
