1. SE процес на ласерско допирање
Намена:Процесот на ласерско допирање со селективен емитер (SE) го подобрува слојот на емитер на ќелијата TOPCon од N-тип за да се намали отпорот на контакт и да се подобри ефикасноста на конверзијата.
Механизам:Ласерската енергија ја топи површината на силициумот, овозможувајќи им на атомите на бор (Б) во боросиликатно стакло брзо да дифундираат во силициумот, создавајќи силно допиран слој. Високото допирување на контактните точки го намалува отпорот на контакт, додека полесното допирување на други места ги минимизира загубите од рекомбинација, на крајот подобрувајќи ја ефикасноста за 0,2%-0,4%.
2. Формирање на слоеви од тунелски оксид и поликристален силициум
Намена:Овие слоеви на задната страна на силиконската плочка создаваат пасивирана контактна структура, клучна за намалување на рекомбинацијата и зголемување на ефикасноста.
Метод:Методот на таложење со хемиска пареа со подобрена плазма (PECVD), кој е префериран во индустријата, таложи филм од силициум оксид од 1-2 nm и слој од аморфен силициум допиран од 100-150 nm, кој кристализира за време на жарењето и формира поликристален слој. PECVD нуди голема брзина на таложење, намалена контаминација и ниска цена, што го прави ефикасен избор за масовно производство.
3. Антирефлективен слој (ARC)
Намена:Повеќеслојната диелектрична структура (SiOx/SiONx/SiNx) ги намалува оптичките загуби и ја подобрува апсорпцијата на светлина, зголемувајќи ја фотострујата и ефикасноста.
Дополнителни придобивки:ARC обезбедува површинска пасивација со намалување на стапките на површинска рекомбинација, продолжување на животниот век на клетките и заштита на претходно таложените слоеви (како што е алумина на предната страна) од оштетување и контаминација.
4. Ласерски индуцирано пукање (LIF)
Намена:LIF се користи по ситопечатот за оптимизирање на контактот помеѓу металната паста и силициумот. Овој процес го подобрува омскиот контакт и го намалува отпорот на контактот, подобрувајќи го електричниот излез.
Влијание:Докажано е дека LIF ја зголемува ефикасноста на конверзија за 0,2% или повеќе, што го прави вреден додаток на производството на TOPCon.
Овие основни чекори во процесот ги истакнуваат напредните техники на производство во технологијата TOPCon, овозможувајќи поголема ефикасност и подобрена стабилност во перформансите на соларните ќелии.
