1. Процес лазерного легування SE
Призначення:Процес лазерного легування селективним емітером (SE) покращує шар емітера на елементі TOPCon N-типу для зменшення контактного опору та підвищення ефективності перетворення.
Механізм:Лазерна енергія плавить поверхню кремнію, дозволяючи атомам бору (B) у боросилікатному склі швидко дифундувати в кремній, створюючи сильно легований шар. Високе легування в точках контакту зменшує контактний опір, тоді як менше легування в інших місцях мінімізує втрати на рекомбінацію, що зрештою підвищує ефективність на 0,2–0,4%.
2. Формування шарів тунельного оксиду та полікристалічного кремнію
Призначення:Ці шари на зворотному боці кремнієвої пластини створюють пасивовану контактну структуру, що має вирішальне значення для зменшення рекомбінації та підвищення ефективності.
Метод:Метод плазмохімічного осадження з парової фази (PECVD), що є найпопулярнішим у галузі, дозволяє осадити плівку оксиду кремнію товщиною 1-2 нм та легований шар аморфного кремнію товщиною 100-150 нм, який кристалізується під час відпалу, утворюючи полікристалічний шар. PECVD пропонує високу швидкість осадження, зменшене забруднення та низьку вартість, що робить його ефективним вибором для масового виробництва.
3. Антиблікове покриття (ARC)
Призначення:Багатошарова діелектрична структура (SiOx/SiONx/SiNx) зменшує оптичні втрати та покращує поглинання світла, підвищуючи фотострум та ефективність.
Додаткові переваги:ARC забезпечує пасивацію поверхні, зменшуючи швидкість поверхневої рекомбінації, подовжуючи термін служби елементів та захищаючи попередньо нанесені шари (такі як оксид алюмінію на передній панелі) від пошкодження та забруднення.
4. Лазерно-індуковане випалювання (LIF)
Призначення:LIF використовується після трафаретного друку для оптимізації контакту між металевою пастою та кремнієм. Цей процес покращує омічний контакт та зменшує контактний опір, покращуючи електричну вихідну потужність.
Вплив:Було показано, що LIF підвищує ефективність перетворення на 0,2% або більше, що робить його цінним доповненням до виробництва TOPCon.
Ці основні етапи процесу підкреслюють передові технології виробництва TOPCon, що забезпечують вищу ефективність та покращену стабільність роботи сонячних елементів.
