1. กระบวนการโดปปิ้งด้วยเลเซอร์ SE
วัตถุประสงค์:กระบวนการโดปด้วยเลเซอร์แบบ Selective Emitter (SE) ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพของชั้นตัวปล่อยแสงในเซลล์ TOPCon ชนิด N เพื่อลดความต้านทานการสัมผัสและปรับปรุงประสิทธิภาพการแปลงพลังงาน
กลไก:พลังงานเลเซอร์หลอมละลายพื้นผิวซิลิคอน ทำให้อะตอมของโบรอน (B) ในกระจกโบโรซิลิเกตสามารถแพร่กระจายเข้าไปในซิลิคอนได้อย่างรวดเร็ว ก่อให้เกิดชั้นที่มีการเจือปนสูง การเจือปนสูงที่จุดสัมผัสช่วยลดความต้านทานการสัมผัส ในขณะที่การเจือปนที่น้อยกว่าในส่วนอื่นๆ ช่วยลดการสูญเสียจากการรวมตัวใหม่ ซึ่งท้ายที่สุดจะช่วยเพิ่มประสิทธิภาพได้ 0.2%-0.4%
2. การก่อตัวของชั้นออกไซด์อุโมงค์และชั้นซิลิคอนผลึกหลายเหลี่ยม
วัตถุประสงค์:ชั้นต่างๆ เหล่านี้บนด้านหลังของแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนสร้างโครงสร้างหน้าสัมผัสแบบพาสซิเวต ซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการลดการรวมตัวใหม่และเพิ่มประสิทธิภาพ
วิธี:วิธีการเคลือบแบบ Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) ซึ่งเป็นที่นิยมในอุตสาหกรรม จะสร้างฟิล์มซิลิคอนออกไซด์หนา 1-2 นาโนเมตร และชั้นซิลิคอนอสัณฐานเจือสารหนา 100-150 นาโนเมตร ซึ่งจะตกผลึกในระหว่างการอบร้อนเพื่อสร้างชั้นผลึกหลายเหลี่ยม PECVD มีข้อดีคือ ความเร็วในการเคลือบสูง ลดการปนเปื้อน และต้นทุนต่ำ ทำให้เป็นตัวเลือกที่มีประสิทธิภาพสำหรับการผลิตจำนวนมาก
3. สารเคลือบป้องกันแสงสะท้อน (ARC)
วัตถุประสงค์:โครงสร้างไดอิเล็กทริกหลายชั้น (SiOx/SiONx/SiNx) ช่วยลดการสูญเสียทางแสงและเพิ่มการดูดซับแสง ส่งผลให้กระแสไฟฟ้าและประสิทธิภาพเพิ่มขึ้น
สิทธิประโยชน์เพิ่มเติม:สารเคลือบป้องกันการกัดกร่อน (ARC) ช่วยลดอัตราการรวมตัวใหม่ของประจุที่พื้นผิว ยืดอายุการใช้งานของเซลล์ และปกป้องชั้นที่เคลือบไว้ก่อนหน้านี้ (เช่น อลูมินาที่ด้านหน้า) จากความเสียหายและการปนเปื้อน
4. การยิงด้วยเลเซอร์ (Laser-Induced Firing หรือ LIF)
วัตถุประสงค์:กระบวนการ LIF ถูกนำมาใช้หลังการพิมพ์สกรีนเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพการสัมผัสระหว่างโลหะวางกับซิลิคอน กระบวนการนี้ช่วยเพิ่มการสัมผัสแบบโอห์มิกและลดความต้านทานการสัมผัส ส่งผลให้ประสิทธิภาพทางไฟฟ้าดีขึ้น
ผลกระทบ:ผลการศึกษาแสดงให้เห็นว่า LIF สามารถเพิ่มประสิทธิภาพการแปลงพลังงานได้ 0.2% หรือมากกว่านั้น ทำให้เป็นส่วนเสริมที่มีคุณค่าสำหรับการผลิต TOPCon
ขั้นตอนกระบวนการหลักเหล่านี้แสดงให้เห็นถึงเทคนิคการผลิตขั้นสูงในเทคโนโลยี TOPCon ซึ่งช่วยให้เซลล์แสงอาทิตย์มีประสิทธิภาพสูงขึ้นและมีความเสถียรมากขึ้น
