1. Postopek laserskega dopiranja SE
Namen:Postopek laserskega dopiranja s selektivnim oddajnikom (SE) izboljša oddajno plast na celici TOPCon tipa N, da zmanjša kontaktni upor in izboljša učinkovitost pretvorbe.
Mehanizem:Laserska energija stopi površino silicija, kar omogoča atomom bora (B) v borosilikatnem steklu, da hitro difundirajo v silicij in ustvarijo močno dopirano plast. Visoka koncentracija dopiranja na kontaktnih točkah zmanjša kontaktno upornost, medtem ko manjša koncentracija dopiranja drugje zmanjša rekombinacijske izgube, kar na koncu izboljša učinkovitost za 0,2–0,4 %.
2. Nastanek tunelskega oksida in polikristalnih silicijevih plasti
Namen:Te plasti na hrbtni strani silicijeve rezine ustvarjajo pasivizirano kontaktno strukturo, ki je ključna za zmanjšanje rekombinacije in povečanje učinkovitosti.
Metoda:Industrijsko priljubljena metoda plazemsko izboljšanega kemičnega nanašanja iz pare (PECVD) nanese 1–2 nm film silicijevega oksida in 100–150 nm dopirano amorfno silicijevo plast, ki med žarjenjem kristalizira in tvori polikristalno plast. PECVD ponuja visoko hitrost nanašanja, zmanjšano kontaminacijo in nizke stroške, zaradi česar je učinkovita izbira za masovno proizvodnjo.
3. Antirefleksni premaz (ARC)
Namen:Večplastna dielektrična struktura (SiOx/SiONx/SiNx) zmanjšuje optične izgube in izboljša absorpcijo svetlobe, s čimer se poveča fototok in učinkovitost.
Dodatne ugodnosti:ARC zagotavlja pasivizacijo površine z zmanjšanjem stopnje površinske rekombinacije, podaljševanjem življenjske dobe celic in zaščito predhodno nanesenih plasti (kot je aluminijev oksid na sprednji strani) pred poškodbami in kontaminacijo.
4. Lasersko inducirano žganje (LIF)
Namen:LIF se uporablja po sitotisku za optimizacijo stika med kovinsko pasto in silicijem. Ta postopek izboljša ohmski stik in zmanjša kontaktno upornost, s čimer se izboljša električni izhod.
Vpliv:Dokazano je, da LIF poveča učinkovitost pretvorbe za 0,2 % ali več, zaradi česar je dragocen dodatek k proizvodnji TOPCon.
Ti ključni koraki postopka poudarjajo napredne proizvodne tehnike v tehnologiji TOPCon, ki omogočajo večjo učinkovitost in izboljšano stabilnost delovanja sončnih celic.
