1. SE-laserdopingsproces
Formål:Den selektive emitter (SE) laserdopingsproces forstærker emitterlaget på en N-type TOPCon-celle for at reducere kontaktmodstanden og forbedre konverteringseffektiviteten.
Mekanisme:Laserenergi smelter siliciumoverfladen, hvilket gør det muligt for boratomer (B) i borsilikatglasset at diffundere hurtigt ind i siliciummet og skabe et stærkt doteret lag. Høj doping ved kontaktpunkter reducerer kontaktmodstanden, mens lettere doping andre steder minimerer rekombinationstab, hvilket i sidste ende forbedrer effektiviteten med 0,2%-0,4%.
2. Dannelse af tunneloxid og polykrystallinske siliciumlag
Formål:Disse lag på siliciumwaferens bagside skaber en passiveret kontaktstruktur, der er afgørende for at reducere rekombination og forbedre effektiviteten.
Metode:Den industrielt foretrukne Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) metode aflejrer en 1-2 nm siliciumoxidfilm og et 100-150 nm doteret amorft siliciumlag, som krystalliserer under udglødning og danner et polykrystallinsk lag. PECVD tilbyder høj aflejringshastighed, reduceret kontaminering og lave omkostninger, hvilket gør den til et effektivt valg til masseproduktion.
3. Antireflekterende belægning (ARC)
Formål:Den dielektriske struktur med flere lag (SiOx/SiONx/SiNx) reducerer optiske tab og forbedrer lysabsorptionen, hvilket øger fotostrømmen og effektiviteten.
Yderligere fordele:ARC giver overfladepassivering ved at reducere overfladerekombinationshastigheder, forlænge cellernes levetid og beskytte tidligere aflejrede lag (såsom aluminiumoxid på forsiden) mod skader og kontaminering.
4. Laserinduceret affyring (LIF)
Formål:LIF bruges efter serigrafi til at optimere kontakten mellem metalpastaen og silicium. Denne proces forbedrer den ohmske kontakt og reducerer kontaktmodstanden, hvilket forbedrer den elektriske effekt.
Indvirkning:LIF har vist sig at øge konverteringseffektiviteten med 0,2 % eller mere, hvilket gør det til en værdifuld tilføjelse til TOPCon-produktionen.
Disse kerneprocestrin fremhæver de avancerede fremstillingsteknikker i TOPCon-teknologien, hvilket muliggør højere effektivitet og forbedret stabilitet i solcellernes ydeevne.
