1. Proces dopovania laserom SE
Účel:Proces dopovania laserom so selektívnym emitorom (SE) vylepšuje vrstvu emitora na článku TOPCon typu N, čím sa znižuje kontaktný odpor a zlepšuje účinnosť konverzie.
Mechanizmus:Laserová energia roztaví povrch kremíka, čo umožňuje atómom bóru (B) v borosilikátovom skle rýchlo difundovať do kremíka a vytvárať silne dotovanú vrstvu. Vysoký doping v kontaktných bodoch znižuje kontaktný odpor, zatiaľ čo ľahší doping inde minimalizuje rekombinačné straty, čo v konečnom dôsledku zlepšuje účinnosť o 0,2 % – 0,4 %.
2. Tvorba vrstiev tunelového oxidu a polykryštalického kremíka
Účel:Tieto vrstvy na zadnej strane kremíkového plátku vytvárajú pasivovanú kontaktnú štruktúru, ktorá je kľúčová pre zníženie rekombinácie a zvýšenie účinnosti.
Metóda:V tomto odvetví preferovaná metóda plazmovo vylepšeného chemického nanášania z pár (PECVD) nanáša 1-2 nm film oxidu kremičitého a 100-150 nm dopovanú vrstvu amorfného kremíka, ktorá počas žíhania kryštalizuje a vytvára polykryštalickú vrstvu. PECVD ponúka vysokú rýchlosť nanášania, zníženú kontamináciu a nízke náklady, vďaka čomu je efektívnou voľbou pre hromadnú výrobu.
3. Antireflexná vrstva (ARC)
Účel:Viacvrstvová dielektrická štruktúra (SiOx/SiONx/SiNx) znižuje optické straty a zlepšuje absorpciu svetla, čím zvyšuje fotoprúd a účinnosť.
Ďalšie výhody:ARC zabezpečuje pasiváciu povrchu znížením rýchlosti povrchovej rekombinácie, predlžovaním životnosti buniek a ochranou predtým nanesených vrstiev (ako napríklad oxid hlinitý na prednej strane) pred poškodením a kontamináciou.
4. Laserom indukované vypaľovanie (LIF)
Účel:LIF sa používa po sieťotlači na optimalizáciu kontaktu medzi kovovou pastou a kremíkom. Tento proces zlepšuje ohmický kontakt a znižuje kontaktný odpor, čím sa zlepšuje elektrický výstup.
Dopad:Ukázalo sa, že LIF zvyšuje účinnosť konverzie o 0,2 % alebo viac, čo z neho robí cenný doplnok k výrobe TOPCon.
Tieto základné kroky procesu zdôrazňujú pokročilé výrobné techniky v technológii TOPCon, ktoré umožňujú vyššiu účinnosť a zvýšenú stabilitu výkonu solárnych článkov.
