1. SE laserski proces dopiranja
Namjena:Proces laserskog dopiranja selektivnim emiterom (SE) poboljšava sloj emitera na TOPCon ćeliji N-tipa kako bi se smanjio kontaktni otpor i poboljšala efikasnost konverzije.
Mehanizam:Laserska energija topi površinu silicija, omogućavajući atomima bora (B) u borosilikatnom staklu da brzo difundiraju u silicijum, stvarajući jako dopirani sloj. Visoko dopiranje na kontaktnim tačkama smanjuje kontaktni otpor, dok lakše dopiranje na drugim mjestima minimizira gubitke rekombinacije, što u konačnici poboljšava efikasnost za 0,2%-0,4%.
2. Formiranje slojeva tunelskog oksida i polikristalnog silicija
Namjena:Ovi slojevi na poleđini silicijumske pločice stvaraju pasiviranu kontaktnu strukturu, ključnu za smanjenje rekombinacije i povećanje efikasnosti.
Metoda:Industrijski preferirana metoda hemijskog taloženja iz parne faze pojačanog plazmom (PECVD) taloži film silicijum oksida debljine 1-2 nm i sloj dopiranog amorfnog silicijuma debljine 100-150 nm, koji kristalizira tokom žarenja i formira polikristalni sloj. PECVD nudi veliku brzinu taloženja, smanjenu kontaminaciju i nisku cijenu, što ga čini efikasnim izborom za masovnu proizvodnju.
3. Antirefleksni premaz (ARC)
Namjena:Višeslojna dielektrična struktura (SiOx/SiONx/SiNx) smanjuje optičke gubitke i poboljšava apsorpciju svjetlosti, povećavajući fotostruju i efikasnost.
Dodatne pogodnosti:ARC omogućava pasivizaciju površine smanjenjem brzine površinske rekombinacije, produžavajući vijek trajanja ćelija i zaštitom prethodno nanesenih slojeva (kao što je aluminijev oksid na prednjoj strani) od oštećenja i kontaminacije.
4. Laserski indukovano paljenje (LIF)
Namjena:LIF se koristi nakon sitotiska za optimizaciju kontakta između metalne paste i silikona. Ovaj proces poboljšava omski kontakt i smanjuje kontaktni otpor, poboljšavajući električni izlaz.
Uticaj:Pokazalo se da LIF povećava efikasnost konverzije za 0,2% ili više, što ga čini vrijednim dodatkom proizvodnji TOPCon-a.
Ovi ključni procesni koraci ističu napredne tehnike proizvodnje u TOPCon tehnologiji, omogućavajući veću efikasnost i poboljšanu stabilnost u performansama solarnih ćelija.
