1. SE լազերային դոպինգի գործընթաց
Նպատակը.Ընտրողական ճառագայթիչով (SE) լազերային լեգիրման գործընթացը բարելավում է N-տիպի TOPCon բջիջի ճառագայթիչ շերտը՝ շփման դիմադրությունը նվազեցնելու և փոխակերպման արդյունավետությունը բարելավելու համար։
Մեխանիզմ:Լազերային էներգիան հալեցնում է սիլիցիումի մակերեսը, ինչը թույլ է տալիս բորոսիլիկատային ապակու մեջ գտնվող բորի (B) ատոմներին արագորեն դիֆուզիոն անցնել սիլիցիումի մեջ՝ ստեղծելով ուժեղ լեգիրված շերտ: Շփման կետերում բարձր լեգիրվածությունը նվազեցնում է շփման դիմադրությունը, մինչդեռ այլուր թույլ լեգիրվածությունը նվազագույնի է հասցնում ռեկոմբինացիոն կորուստները, ի վերջո բարելավելով արդյունավետությունը 0.2%-0.4%-ով:
2. Թունելային օքսիդի և պոլիկրիստալային սիլիցիումի շերտերի առաջացում
Նպատակը.Սիլիկոնային վեֆերի հետևի մասում գտնվող այս շերտերը ստեղծում են պասիվացված կոնտակտային կառուցվածք, որը կարևոր է ռեկոմբինացիան նվազեցնելու և արդյունավետությունը բարձրացնելու համար։
Մեթոդ՝Արդյունաբերության կողմից նախընտրելի պլազմային ուժեղացված քիմիական գոլորշու նստեցման (PECVD) մեթոդը նստեցնում է 1-2 նմ սիլիցիումի օքսիդային թաղանթ և 100-150 նմ լեգիրված ամորֆ սիլիցիումի շերտ, որը բյուրեղանում է թրծման ընթացքում՝ առաջացնելով պոլիբյուրեղային շերտ: PECVD-ն առաջարկում է նստեցման բարձր արագություն, նվազեցված աղտոտում և ցածր գին, ինչը այն դարձնում է արդյունավետ ընտրություն զանգվածային արտադրության համար:
3. Հակաանդրադարձնող ծածկույթ (ARC)
Նպատակը.Բազմաշերտ դիէլեկտրիկ կառուցվածքը (SiOx/SiONx/SiNx) նվազեցնում է օպտիկական կորուստները և ուժեղացնում լույսի կլանումը, մեծացնելով լուսահոսանքը և արդյունավետությունը։
Լրացուցիչ առավելություններ՝ARC-ն ապահովում է մակերեսի պասիվացում՝ նվազեցնելով մակերեսային ռեկոմբինացիայի արագությունը, երկարացնելով բջիջների կյանքի տևողությունը և պաշտպանելով նախկինում նստեցված շերտերը (օրինակ՝ առջևի մասում գտնվող ալյումինան) վնասից և աղտոտումից։
4. Լազերային կրակոց (LIF)
Նպատակը.LIF-ը կիրառվում է էկրանային տպագրությունից հետո՝ մետաղական մածուկի և սիլիցիումի միջև շփումը օպտիմալացնելու համար: Այս գործընթացը ուժեղացնում է օհմական շփումը և նվազեցնում շփման դիմադրությունը՝ բարելավելով էլեկտրական ելքը:
Ազդեցություն՝Ցույց է տրվել, որ LIF-ը մեծացնում է փոխակերպման արդյունավետությունը 0.2%-ով կամ ավելի, ինչը այն դարձնում է TOPCon արտադրության արժեքավոր լրացում։
Այս հիմնական գործընթացային քայլերը ընդգծում են TOPCon տեխնոլոգիայի առաջադեմ արտադրական տեխնիկան, որը թույլ է տալիս ապահովել ավելի բարձր արդյունավետություն և բարելավված կայունություն արևային մարտկոցների աշխատանքում։
