1. SE lazer bilen doping prosesi
Maksat:Selektiv Emitter (SE) lazer lehimleme prosesi kontakt garşylygyny azaltmak we konwersiýanyň netijeliligini ýokarlandyrmak üçin N-tipli TOPCon öýjükdäki emitter gatlagyny güýçlendirýär.
Mehanizm:Lazer energiýasy kremniýiň ýüzüni eredip, borosilikat aýnasyndaky bor (B) atomlarynyň kremniýiň içine çalt ýaýramagyna mümkinçilik berýär we güýçli lehimlenen gatlagy döredýär. Kontakt nokatlarynda ýokary lehimlemek kontakt garşylygyny azaldýar, beýleki ýerlerde bolsa ýeňil lehimlemek rekombinasiýa ýitgilerini azaldýar we netijede netijeliligi 0,2%-0,4% ýokarlandyrýar.
2. Tunnel oksidiniň we polikristal kremniý gatlaklarynyň emele gelmegi
Maksat:Kremniý plastinkasynyň arka tarapyndaky bu gatlaklar rekombinasiýany azaltmak we netijeliligi ýokarlandyrmak üçin möhüm bolan passiwleşdirilen kontakt gurluşyny döredýär.
Usul:Senagatda ileri tutulýan plazma güýçlendirilen himiki bug çökündisi (PECVD) usuly 1-2 nm kremniý oksidi plyonkasyny we 100-150 nm lehimlenen amorf kremniý gatlagyny çökündirýär, ol bolsa ýumşadylanda kristallaşyp, polikristal gatlagy emele getirýär. PECVD ýokary çökündi tizligini, hapalanmagyň azaldylmagyny we arzan bahasyny hödürleýär, bu bolsa ony köpçülikleýin önümçilik üçin netijeli saýlaw edýär.
3. Şöhle çykaryjy örtük (ARC)
Maksat:Köp gatlakly dielektrik gurluş (SiOx/SiONx/SiNx) optiki ýitgileri azaldýar we ýagtylygyň siňdirilişini güýçlendirýär, fototoky we netijeliligi ýokarlandyrýar.
Goşmaça artykmaçlyklar:ARC, ýüz rekombinasiýa tizligini azaltmak, öýjük ömrüni uzaltmak we öň çökdürilen gatlaklary (meselem, öň tarapdaky alýumin oksidi) zeperlenmeden we hapalanmadan goramak arkaly ýüz passiwasiýasyny üpjün edýär.
4. Lazer bilen ot açyş (LIF)
Maksat:LIF metal pastasy bilen kremniýiň arasyndaky gatnaşygy optimizirlemek üçin ekrandan soňky çapdan soň ulanylýar. Bu proses omik gatnaşygy güýçlendirýär we kontakt garşylygyny azaldýar, elektrik çykyşyny gowulandyrýar.
Täsir:LIF-iň konwersiýa netijeliligini 0,2% ýa-da ondan hem köp ýokarlandyrýandygy görkezildi, bu bolsa ony TOPCon önümçiligine gymmatly goşmaça edýär.
Bu esasy proses ädimleri TOPCon tehnologiýasyndaky öňdebaryjy önümçilik usullaryny görkezýär, bu bolsa gün batareýalarynyň işiniň has ýokary netijeliligini we durnuklylygyny üpjün etmäge mümkinçilik berýär.
