1. SE Laser Doping Txheej Txheem
Lub Hom Phiaj:Cov txheej txheem doping laser Selective Emitter (SE) txhim kho cov txheej emitter ntawm N-hom TOPCon cell kom txo qhov kev tiv thaiv kev sib cuag thiab txhim kho kev hloov pauv zoo.
Lub Tshuab:Lub zog laser yaj lub silicon nto, ua rau cov boron (B) atoms hauv lub iav borosilicate kis mus rau hauv silicon sai sai, tsim ib txheej doped hnyav. Doping siab ntawm cov ntsiab lus sib cuag txo qhov tsis kam sib cuag, thaum doping sib dua lwm qhov txo qis kev poob recombination, thaum kawg txhim kho kev ua haujlwm los ntawm 0.2% -0.4%.
2. Kev Tsim Cov Txheej Txheem Oxide thiab Polycrystalline Silicon
Lub Hom Phiaj:Cov txheej no ntawm sab nraub qaum ntawm silicon wafer tsim cov qauv sib cuag passivated, tseem ceeb rau kev txo cov recombination thiab txhim kho kev ua haujlwm zoo.
Txoj Kev:Txoj kev Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) uas neeg nyiam siv hauv kev lag luam no tso ib daim zaj duab xis silicon oxide 1-2nm thiab ib txheej silicon amorphous doped 100-150nm, uas yuav crystallizes thaum lub sijhawm annealing los ua ib txheej polycrystalline. PECVD muaj kev ceev ceev ntawm kev tso dej tawm, txo cov kuab paug, thiab pheej yig, ua rau nws yog ib qho kev xaiv zoo rau kev tsim khoom loj.
3. Txheej Txheem Tiv Thaiv Kev Txav (ARC)
Lub Hom Phiaj:Cov qauv dielectric ntau txheej (SiOx/SiONx/SiNx) txo qhov poob ntawm qhov muag thiab txhim kho kev nqus lub teeb, txhawb nqa photocurrent thiab kev ua haujlwm zoo.
Cov Kev Pab Ntxiv:Lub ARC muab qhov chaw passivation los ntawm kev txo cov nqi sib xyaw ua ke ntawm qhov chaw, txuas lub neej ntawm lub cell, thiab tiv thaiv cov txheej uas tau tso ua ntej (xws li alumina nyob rau sab xub ntiag) los ntawm kev puas tsuaj thiab kev ua qias tuaj.
4. Kev Tua Hluav Taws Xob Los Ntawm Laser (LIF)
Lub Hom Phiaj:LIF siv tom qab luam ntawv los ua kom qhov sib cuag ntawm cov hlau nplaum thiab silicon zoo dua. Cov txheej txheem no ua kom qhov sib cuag ohmic zoo dua thiab txo qhov tsis kam ntawm qhov sib cuag, ua kom cov zis hluav taws xob zoo dua.
Kev cuam tshuam:LIF tau pom tias ua rau kev hloov pauv hluav taws xob ua haujlwm tau zoo dua 0.2% lossis ntau dua, ua rau nws yog ib qho ntxiv rau TOPCon kev tsim khoom.
Cov kauj ruam tseem ceeb no qhia txog cov txheej txheem tsim khoom siab heev hauv TOPCon thev naus laus zis, uas ua rau muaj kev ua haujlwm zoo dua thiab kev ruaj khov ntxiv hauv kev ua haujlwm ntawm lub hnub ci cell.
