1. SE лазер допинг хийх үйл явц
Зорилго:Сонгомол ялгаруулагч (SE) лазерын допинг хийх процесс нь N хэлбэрийн TOPCon эсийн ялгаруулагч давхаргыг сайжруулж, контакт эсэргүүцлийг бууруулж, хөрвүүлэлтийн үр ашгийг сайжруулдаг.
Механизм:Лазерын энерги нь цахиурын гадаргууг хайлуулж, боросиликат шилэн дэх бор (B) атомууд цахиур руу хурдан тархаж, их хэмжээний хольцтой давхарга үүсгэдэг. Холбоо барих цэгүүдэд өндөр хольц нь холбоо барих эсэргүүцлийг бууруулдаг бол бусад газарт хөнгөн хольц нь рекомбинацийн алдагдлыг багасгаж, эцэст нь үр ашгийг 0.2%-0.4%-иар сайжруулдаг.
2. Хонгилын исэл ба поликристалл цахиурын давхарга үүсэх нь
Зорилго:Цахиурын нимгэн хавтангийн ар тал дээрх эдгээр давхаргууд нь идэвхгүй холбоо барих бүтцийг үүсгэдэг бөгөөд энэ нь рекомбинацийг бууруулж, үр ашгийг дээшлүүлэхэд чухал үүрэгтэй.
Арга:Салбарт илүүд үздэг плазмын сайжруулсан химийн ууршуулах тунадасжуулалт (PECVD) арга нь 1-2 нм цахиурын ислийн хальс болон 100-150 нм хольцтой аморф цахиурын давхаргыг хуримтлуулдаг бөгөөд энэ нь хайлуулах явцад талсжиж поликристалл давхарга үүсгэдэг. PECVD нь өндөр тунадасжуулалтын хурд, бохирдол багатай, хямд өртөгтэй тул массын үйлдвэрлэлд үр дүнтэй сонголт болдог.
3. Гэрлийн тусгалаас хамгаалах бүрхүүл (ARC)
Зорилго:Олон давхаргат диэлектрик бүтэц (SiOx/SiONx/SiNx) нь оптик алдагдлыг бууруулж, гэрлийн шингээлтийг сайжруулж, фото гүйдэл болон үр ашгийг нэмэгдүүлдэг.
Нэмэлт давуу талууд:ARC нь гадаргуугийн рекомбинацийн хурдыг бууруулж, эсийн ашиглалтын хугацааг уртасгаж, өмнө нь хуримтлагдсан давхаргыг (жишээлбэл, урд талын хөнгөнцагаан исэл) гэмтлээс болон бохирдлоос хамгаалснаар гадаргуугийн идэвхгүйжилтийг хангадаг.
4. Лазераар өдөөгдсөн галлах (LIF)
Зорилго:LIF-ийг металл зуурмаг болон цахиурын хоорондох холбоог оновчтой болгохын тулд дэлгэцийн дараах хэвлэхэд ашигладаг. Энэ процесс нь ом холбоог сайжруулж, холбоо барих эсэргүүцлийг бууруулж, цахилгаан гаралтыг сайжруулдаг.
Нөлөөлөл:LIF нь хөрвүүлэлтийн үр ашгийг 0.2% ба түүнээс дээш хувиар нэмэгдүүлдэг нь TOPCon үйлдвэрлэлд үнэ цэнэтэй нэмэлт болж байгаа нь батлагдсан.
Эдгээр үндсэн процессын алхамууд нь TOPCon технологийн дэвшилтэт үйлдвэрлэлийн техникийг онцолж, нарны зай хураагуурын гүйцэтгэлийг илүү өндөр үр ашигтай, тогтвортой байлгах боломжийг олгодог.
