1. SE процес ласерског допирања
Намена:Процес ласерског допирања селективним емитером (SE) побољшава слој емитера на TOPCon ћелији N-типа како би се смањио контактни отпор и побољшала ефикасност конверзије.
Механизам:Ласерска енергија топи површину силицијума, омогућавајући атомима бора (B) у боросиликатном стаклу да брзо дифундују у силицијум, стварајући јако допирани слој. Високо допирање на контактним тачкама смањује контактни отпор, док мање допирање на другим местима минимизира губитке рекомбинације, што на крају побољшава ефикасност за 0,2%-0,4%.
2. Формирање слојева тунелског оксида и поликристалног силицијума
Намена:Ови слојеви на задњој страни силицијумске плочице стварају пасивизовану контактну структуру, кључну за смањење рекомбинације и повећање ефикасности.
Метод:Индустријски преферирана метода хемијског таложења из парне фазе уз помоћ плазме (PECVD) таложи филм силицијум оксида дебљине 1-2 nm и слој допираног аморфног силицијума дебљине 100-150 nm, који кристалише током жарења и формира поликристални слој. PECVD нуди велику брзину таложења, смањену контаминацију и ниску цену, што га чини ефикасним избором за масовну производњу.
3. Антирефлексни премаз (ARC)
Намена:Вишеслојна диелектрична структура (SiOx/SiONx/SiNx) смањује оптичке губитке и побољшава апсорпцију светлости, повећавајући фотострују и ефикасност.
Додатне погодности:ARC обезбеђује површинску пасивацију смањењем брзине површинске рекомбинације, продужавањем животног века ћелија и заштитом претходно нанетих слојева (као што је алуминијум на предњој страни) од оштећења и контаминације.
4. Ласерски индуковано печење (LIF)
Намена:LIF се користи након сито штампе како би се оптимизовао контакт између металне пасте и силицијума. Овај процес побољшава омски контакт и смањује отпор контакта, побољшавајући електрични излаз.
Утицај:Показано је да LIF повећава ефикасност конверзије за 0,2% или више, што га чини вредним додатком производњи TOPCon-а.
Ови основни кораци процеса истичу напредне технике производње у TOPCon технологији, омогућавајући већу ефикасност и побољшану стабилност у перформансама соларних ћелија.
