1. Proces dopingu laserowego SE
Zamiar:Proces domieszkowania laserowego Selektywnego Emitera (SE) ulepsza warstwę emitera w ogniwie TOPCon typu N, aby zmniejszyć rezystancję styku i poprawić wydajność konwersji.
Mechanizm:Energia lasera topi powierzchnię krzemu, umożliwiając atomom boru (B) ze szkła borokrzemianowego szybką dyfuzję do krzemu, tworząc silnie domieszkowaną warstwę. Wysokie domieszkowanie w punktach styku zmniejsza rezystancję styku, podczas gdy mniejsze domieszkowanie w innych miejscach minimalizuje straty rekombinacji, ostatecznie poprawiając wydajność o 0,2%-0,4%.
2. Tworzenie warstw tlenku tunelowego i krzemu polikrystalicznego
Zamiar:Warstwy te na tylnej stronie płytki krzemowej tworzą pasywowaną strukturę styku, która ma kluczowe znaczenie dla ograniczenia rekombinacji i zwiększenia wydajności.
Metoda:Preferowana w branży metoda osadzania chemicznego z fazy gazowej wspomaganego plazmą (PECVD) osadza warstwę tlenku krzemu o grubości 1-2 nm oraz warstwę amorficznego krzemu domieszkowanego o grubości 100-150 nm, która krystalizuje podczas wyżarzania, tworząc warstwę polikrystaliczną. PECVD oferuje wysoką prędkość osadzania, mniejsze zanieczyszczenie i niskie koszty, co czyni ją skutecznym wyborem w produkcji masowej.
3. Powłoka antyrefleksyjna (ARC)
Zamiar:Wielowarstwowa struktura dielektryczna (SiOx/SiONx/SiNx) redukuje straty optyczne i zwiększa absorpcję światła, zwiększając prąd fotoelektryczny i wydajność.
Dodatkowe korzyści:ARC zapewnia pasywację powierzchni poprzez redukcję szybkości rekombinacji powierzchni, wydłuża żywotność ogniwa i chroni wcześniej osadzone warstwy (np. tlenek glinu z przodu) przed uszkodzeniem i zanieczyszczeniem.
4. Odpalanie laserowe (LIF)
Zamiar:Technologia LIF jest stosowana po sitodruku w celu optymalizacji kontaktu między pastą metalową a silikonem. Proces ten poprawia kontakt omowy i zmniejsza rezystancję styku, poprawiając wydajność elektryczną.
Uderzenie:Wykazano, że technologia LIF zwiększa wydajność konwersji o 0,2% lub więcej, co sprawia, że jest cennym uzupełnieniem produkcji TOPCon.
Poniższe kluczowe etapy procesu podkreślają zaawansowane techniki produkcyjne technologii TOPCon, które umożliwiają uzyskanie wyższej wydajności i zwiększonej stabilności działania ogniw słonecznych.
