1. Ilana SE Laser Doping
Ète:Ilana lilo lesa Selective Emitter (SE) mu ipele emitter pọ si lori sẹẹli TOPCon iru N lati dinku resistance olubasọrọ ati mu ṣiṣe iyipada dara si.
Ọ̀nà ìṣe:Agbára léésà ń yọ́ ojú sílíkónì, èyí sì ń jẹ́ kí àwọn átọ̀mù boron (B) nínú gíláàsì borosilicate tàn kánkán sínú sílíkónì, èyí sì ń ṣẹ̀dá ìpele tó ní ìfúnpọ̀ púpọ̀. Dídín oògùn pọ̀ ní àwọn ibi tí a ti ń kan ara wọn ń dín agbára ìfọwọ́sowọ́pọ̀ kù, nígbà tí dídín oògùn díẹ̀ níbòmíràn ń dín àdánù ìfọwọ́sowọ́pọ̀ kù, èyí sì ń mú kí iṣẹ́ ṣiṣe sunwọ̀n sí i ní 0.2%-0.4%.
2. Ìṣẹ̀dá àwọn Fẹ́ẹ̀lì Silikoni Oxide àti Polycrystalline
Ète:Àwọn ìpele wọ̀nyí lórí ẹ̀yìn wafer silicon ṣẹ̀dá ìrísí ìfọwọ́kan tí a kò lè yípadà, èyí tí ó ṣe pàtàkì fún dín ìdàpọ̀pọ̀ àti mímú kí iṣẹ́ rẹ̀ sunwọ̀n sí i.
Ọ̀nà:Ọ̀nà Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) tí ilé iṣẹ́ fẹ́ràn jùlọ ni fíìmù silicon oxide 1-2nm àti fẹ́lẹ́fẹ́lẹ́ silicon amorphous 100-150nm tí a fi sínú rẹ̀, èyí tí ó máa ń tàn nígbà tí a bá ń yọ́ ọ láti ṣẹ̀dá fẹ́lẹ́fẹ́lẹ́ polycrystalline. PECVD ní iyàrá ìfipamọ́ gíga, ìdínkù ìbàjẹ́, àti owó tí kò wọ́n, èyí tí ó mú kí ó jẹ́ àṣàyàn tí ó gbéṣẹ́ fún ìṣẹ̀dá púpọ̀.
3. Àwọ̀ tí kò fara hàn lójú (ARC)
Ète:Ìṣètò dielectric onípele-pupọ (SiOx/SiONx/SiNx) dín ìpàdánù opitika kù ó sì mú kí ìfàmọ́ra ìmọ́lẹ̀ pọ̀ sí i, èyí sì mú kí photocurrent àti ìṣiṣẹ́ rẹ̀ pọ̀ sí i.
Àwọn Àǹfààní Àfikún:ARC n pese ipadanu oju ilẹ nipa idinku awọn oṣuwọn ajọpọ oju ilẹ, fifun igbesi aye sẹẹli pọ si, ati aabo awọn fẹlẹfẹlẹ ti a ti fi silẹ tẹlẹ (bii alumina ni iwaju) kuro ninu ibajẹ ati idoti.
4. Ìbọn tí a fi lésà ṣe (LIF)
Ète:A lo LIF lati lo titẹjade lẹhin iboju lati mu ifarakanra laarin lẹẹmọ irin ati silikoni dara si. Ilana yii mu ifarakanra ohmic pọ si ati dinku resistance olubasọrọ, ni imudarasi iṣelọpọ ina.
Ipa:A ti fihan pe LIF n mu ki iṣẹ iyipada pọ si nipasẹ 0.2% tabi diẹ sii, eyi ti o jẹ ki o jẹ afikun pataki si iṣelọpọ TOPCon.
Àwọn ìgbésẹ̀ ìlànà pàtàkì yìí ń ṣe àfihàn àwọn ọ̀nà ìṣelọ́pọ́ tó ti ní ìlọsíwájú nínú ìmọ̀ ẹ̀rọ TOPCon, èyí tó ń jẹ́ kí iṣẹ́ tó ga jù àti ìdúróṣinṣin tó ga jù nínú iṣẹ́ sẹ́ẹ̀lì oòrùn.
