1. SE лазердик легирлөө процесси
Максаты:Тандалма эмиттер (SE) лазердик легирлөө процесси N-типтеги TOPCon клеткасындагы эмиттер катмарын күчөтүп, контакттык каршылыкты азайтат жана конверсиянын натыйжалуулугун жогорулатат.
Механизм:Лазер энергиясы кремнийдин бетин эритип, боросиликат айнегиндеги бор (В) атомдорунун кремнийге тез диффузияланышына шарт түзөт, бул өтө легирленген катмарды түзөт. Байланыш чекиттериндеги жогорку легирлөө байланышка туруктуулукту азайтат, ал эми башка жерлерде жеңилирээк легирлөө рекомбинациянын жоготууларын минималдаштырып, натыйжада натыйжалуулукту 0,2%-0,4% га жакшыртат.
2. Туннель кычкылынын жана поликристаллдык кремний катмарларынын пайда болушу
Максаты:Кремний пластинасынын арткы бетиндеги бул катмарлар пассивдүү контакттык түзүлүштү түзөт, бул рекомбинацияны азайтуу жана натыйжалуулукту жогорулатуу үчүн абдан маанилүү.
Ыкма:Өнөр жайда артыкчылыктуу болгон плазмалык күчөтүлгөн химиялык буу чөктүрүү (PECVD) ыкмасы 1-2 нм кремний кычкылынын пленкасын жана 100-150 нм легирленген аморфтук кремний катмарын чөктүрөт, ал күйгүзүү учурунда кристаллдашып, поликристаллдык катмарды түзөт. PECVD жогорку чөктүрүү ылдамдыгын, булганууну азайтууну жана арзан бааны сунуштайт, бул аны массалык өндүрүш үчүн натыйжалуу тандоо кылат.
3. Чагылдырбоочу каптоо (ARC)
Максаты:Көп катмарлуу диэлектрикалык түзүлүш (SiOx/SiONx/SiNx) оптикалык жоготууларды азайтып, жарыктын сиңишин күчөтүп, фототокту жана натыйжалуулукту жогорулатат.
Кошумча артыкчылыктар:ARC беттик пассивдүүлүктү камсыз кылат, бул беттик рекомбинация ылдамдыгын төмөндөтөт, клетканын иштөө мөөнөтүн узартат жана мурда чөктүрүлгөн катмарларды (мисалы, алдыңкы бетиндеги глиноземди) бузулуудан жана булгануудан коргойт.
4. Лазер менен атуу (LIF)
Максаты:LIF металл пастасы менен кремнийдин ортосундагы байланышты оптималдаштыруу үчүн экрандан кийинки басып чыгарууда колдонулат. Бул процесс омдук байланышты күчөтөт жана контактка каршылыкты азайтып, электр кубатын жакшыртат.
Таасири:LIF конверсиянын натыйжалуулугун 0,2% же андан көпкө жогорулатаары көрсөтүлдү, бул аны TOPCon өндүрүшүнө баалуу кошумча кылат.
Бул негизги процесстик кадамдар TOPCon технологиясындагы өнүккөн өндүрүш ыкмаларын баса белгилеп, күн батареяларынын иштешинде жогорку натыйжалуулукту жана туруктуулукту жогорулатууга мүмкүндүк берет.
