1. Διαδικασία πρόσμιξης με λέιζερ SE
Σκοπός:Η διαδικασία πρόσμιξης με λέιζερ Selective Emitter (SE) ενισχύει το στρώμα εκπομπού σε ένα κελί TOPCon τύπου Ν για να μειώσει την αντίσταση επαφής και να βελτιώσει την απόδοση μετατροπής.
Μηχανισμός:Η ενέργεια λέιζερ λιώνει την επιφάνεια του πυριτίου, επιτρέποντας στα άτομα βορίου (Β) στο βοριοπυριτικό γυαλί να διαχέονται γρήγορα στο πυρίτιο, δημιουργώντας ένα στρώμα με έντονες προσμίξεις. Η υψηλή πρόσμιξη στα σημεία επαφής μειώνει την αντίσταση επαφής, ενώ η ελαφρύτερη πρόσμιξη αλλού ελαχιστοποιεί τις απώλειες ανασυνδυασμού, βελτιώνοντας τελικά την απόδοση κατά 0,2%-0,4%.
2. Σχηματισμός στρωμάτων οξειδίου σήραγγας και πολυκρυσταλλικού πυριτίου
Σκοπός:Αυτά τα στρώματα στο πίσω μέρος του πλακιδίου πυριτίου δημιουργούν μια παθητικοποιημένη δομή επαφής, κρίσιμη για τη μείωση του ανασυνδυασμού και την ενίσχυση της απόδοσης.
Μέθοδος:Η μέθοδος PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition), η οποία προτιμάται από τη βιομηχανία, εναποθέτει μια μεμβράνη οξειδίου του πυριτίου πάχους 1-2 nm και ένα στρώμα άμορφου πυριτίου με πρόσμιξη πάχους 100-150 nm, το οποίο κρυσταλλώνεται κατά την ανόπτηση σχηματίζοντας ένα πολυκρυσταλλικό στρώμα. Η PECVD προσφέρει υψηλή ταχύτητα εναπόθεσης, μειωμένη μόλυνση και χαμηλό κόστος, καθιστώντας την μια αποτελεσματική επιλογή για μαζική παραγωγή.
3. Αντιανακλαστική επίστρωση (ARC)
Σκοπός:Η πολυστρωματική διηλεκτρική δομή (SiOx/SiONx/SiNx) μειώνει τις οπτικές απώλειες και ενισχύει την απορρόφηση φωτός, ενισχύοντας το φωτορεύμα και την απόδοση.
Επιπλέον οφέλη:Το ARC παρέχει παθητικοποίηση της επιφάνειας μειώνοντας τους ρυθμούς ανασυνδυασμού της επιφάνειας, παρατείνοντας τη διάρκεια ζωής των κυψελών και προστατεύοντας τα προηγουμένως εναποτιθέμενα στρώματα (όπως η αλουμίνα στο μπροστινό μέρος) από ζημιές και μόλυνση.
4. Πυρόλυση με λέιζερ (LIF)
Σκοπός:Το LIF χρησιμοποιείται μετά την εκτύπωση με μεταξοτυπία για τη βελτιστοποίηση της επαφής μεταξύ της μεταλλικής πάστας και του πυριτίου. Αυτή η διαδικασία ενισχύει την ωμική επαφή και μειώνει την αντίσταση επαφής, βελτιώνοντας την ηλεκτρική έξοδο.
Σύγκρουση:Έχει αποδειχθεί ότι το LIF αυξάνει την απόδοση μετατροπής κατά 0,2% ή περισσότερο, καθιστώντας το μια πολύτιμη προσθήκη στην κατασκευή TOPCon.
Αυτά τα βασικά βήματα της διαδικασίας υπογραμμίζουν τις προηγμένες τεχνικές κατασκευής στην τεχνολογία TOPCon, επιτρέποντας υψηλότερη απόδοση και βελτιωμένη σταθερότητα στην απόδοση των ηλιακών κυψελών.
