១. ដំណើរការប្រើប្រាស់សារធាតុដូបឡាស៊ែរ SE
គោលបំណង៖ដំណើរការបញ្ចូលសារធាតុឡាស៊ែរ Selective Emitter (SE) បង្កើនស្រទាប់បញ្ចេញនៅលើក្រឡា TOPCon ប្រភេទ N ដើម្បីកាត់បន្ថយភាពធន់នឹងទំនាក់ទំនង និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាពបំលែង។
យន្តការ៖ថាមពលឡាស៊ែររលាយផ្ទៃស៊ីលីកុន ដែលអាចឱ្យអាតូមបូរ៉ុន (B) នៅក្នុងកញ្ចក់បូរ៉ូស៊ីលីកសាយភាយយ៉ាងលឿនចូលទៅក្នុងស៊ីលីកុន បង្កើតជាស្រទាប់ដែលមានសារធាតុដូបច្រើន។ ដូបខ្ពស់នៅចំណុចទំនាក់ទំនងកាត់បន្ថយភាពធន់នឹងទំនាក់ទំនង ខណៈពេលដែលដូបស្រាលនៅកន្លែងផ្សេងទៀតកាត់បន្ថយការខាតបង់ការរួមបញ្ចូលគ្នាឡើងវិញ ដែលនៅទីបំផុតធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវប្រសិទ្ធភាពពី 0.2% -0.4%។
2. ការបង្កើតស្រទាប់អុកស៊ីដផ្លូវរូងក្រោមដី និងស្រទាប់ស៊ីលីកុនពហុគ្រីស្តាលីន
គោលបំណង៖ស្រទាប់ទាំងនេះនៅផ្នែកខាងក្រោយនៃបន្ទះស៊ីលីកុនបង្កើតរចនាសម្ព័ន្ធទំនាក់ទំនងអសកម្ម ដែលមានសារៈសំខាន់សម្រាប់កាត់បន្ថយការរួមបញ្ចូលគ្នាឡើងវិញ និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាព។
វិធីសាស្ត្រ៖វិធីសាស្ត្រ Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) ដែលឧស្សាហកម្មពេញចិត្ត ដាក់ស្រទាប់ស៊ីលីកុនអុកស៊ីដទំហំ 1-2nm និងស្រទាប់ស៊ីលីកុនអាម៉ូហ្វូសដែលមានសារធាតុបន្ថែមទំហំ 100-150nm ដែលបង្កើតជាគ្រីស្តាល់កំឡុងពេលដុតដើម្បីបង្កើតជាស្រទាប់ពហុគ្រីស្តាល់។ PECVD ផ្តល់នូវល្បឿនដាក់ខ្ពស់ ការបំពុលទាប និងតម្លៃទាប ដែលធ្វើឱ្យវាក្លាយជាជម្រើសដ៏មានប្រសិទ្ធភាពសម្រាប់ការផលិតទ្រង់ទ្រាយធំ។
៣. ថ្នាំកូតប្រឆាំងការឆ្លុះបញ្ចាំង (ARC)
គោលបំណង៖រចនាសម្ព័ន្ធឌីអេឡិចត្រិចច្រើនស្រទាប់ (SiOx/SiONx/SiNx) កាត់បន្ថយការខាតបង់អុបទិក និងបង្កើនការស្រូបយកពន្លឺ ដែលជំរុញចរន្តពន្លឺ និងប្រសិទ្ធភាព។
អត្ថប្រយោជន៍បន្ថែម៖វិធីសាស្ត្រ ARC ផ្តល់នូវភាពអសកម្មលើផ្ទៃដោយកាត់បន្ថយអត្រានៃការបញ្ចូលគ្នាឡើងវិញលើផ្ទៃ ពន្យារអាយុកាលកោសិកា និងការពារស្រទាប់ដែលបានដាក់ពីមុន (ដូចជាអាលុយមីញ៉ូមនៅខាងមុខ) ពីការខូចខាត និងការបំពុល។
៤. ការបាញ់ដោយឡាស៊ែរ (LIF)
គោលបំណង៖LIF ត្រូវបានប្រើបន្ទាប់ពីការបោះពុម្ពលើអេក្រង់ ដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាពទំនាក់ទំនងរវាងសារធាតុស្អិតលោហៈ និងស៊ីលីកុន។ ដំណើរការនេះបង្កើនទំនាក់ទំនងអូមិច និងកាត់បន្ថយភាពធន់នឹងទំនាក់ទំនង ដោយធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវទិន្នផលអគ្គិសនី។
ផលប៉ះពាល់៖LIF ត្រូវបានបង្ហាញថាបង្កើនប្រសិទ្ធភាពបំលែងបាន 0.2% ឬច្រើនជាងនេះ ដែលធ្វើឱ្យវាក្លាយជាការបន្ថែមដ៏មានតម្លៃដល់ការផលិត TOPCon។
ជំហានដំណើរការស្នូលទាំងនេះបង្ហាញពីបច្ចេកទេសផលិតកម្រិតខ្ពស់នៅក្នុងបច្ចេកវិទ្យា TOPCon ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ និងបង្កើនស្ថេរភាពក្នុងដំណើរការកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ។




